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电子级超纯水精制混床离子交换过程

电子级超纯水精制混床离子交换过程

作者:不详   发布时间: 2019/8/3 13:27:16

  以电子级超纯水精制混床离子交换树脂为特征,以出水电导率和总有机碳为指标,研究了进水流量为、,树脂粒径均匀性等主要因素,对电子级进行了细化。等级超纯水。床层离子交换树脂对出水水质的影响。结果表明,出水水质随着进水水质的提高而提高。当操作流量控制在50-70B V/h时,具有更均匀粒径的树脂的出水水质和定期产水量更好。在一定的操作条件下,电子级超纯水精制混床离子交换树脂完全可以满足电子行业对出水水质的要求。

  随着电子和半导体产业的发展,生产中使用的超纯水的质量要求不断提高,超纯水的标准也在不断提高。目前,超纯水的要求主要是接近理论值的:水电阻率,25℃时的18Mcm;控制有害杂质如颗粒、的细菌极为严格,因为颗粒会在半导体的外延层中引起尖峰,光刻过程中产生针孔,而细菌本身可视为微粒,而且体内含有各种痕迹金属元素如钠、钾、磷和总有机碳(T 0 C)也对氧化膜的形成有不利影响。

  目前用于制备超纯水的有反渗透(R 0)、电脱盐(CEDE,UF超滤)、离子交换(LW、精制混床离子交换技术(PM IX)等。虽然UF,RO和ED水中电解质和有机物的去除率很高,但很难长时间稳定运行,难以去除水中的一些有机物和微量杂质离子。上述几种方法独立用完水。很难满足电子级超纯水的要求,因此有必要将几种有机材料结合起来,进一步提高出水水质。使用OF 10 RO 10伏制备超纯水的组合工艺非常成熟, UF 10 RO 10 ED PM伏工艺也被用于超纯水的生产。离子交换技术发挥了关键作用。随着UF,RO,ED技术的进步和发展,它在实际工程中是稳定的。时间越来越长,出水的质量越来越好,但离开交换技术生产合格的超纯水仍然非常困难。 OF 10 RO ED升PM是组合过程中精制混床的关键部分。混合床芯心脏是一种精制的混床树脂,可以去除水中的微量杂质离子,对去除水中的小分子有机物也起到积极的作用。

  离子交换树脂产品种类很多,分类方法根据不同的标准不同。中国于2009年2月1日开始实施的标准规范。新开发的离子交换树脂合成新技术包括共聚合过程后的、交联过程。目前,国内已出现一些新的离子交换树脂,如反常规均质混床树脂、两性官能团离子交换树脂、凝胶型炭黑阳离子交换树脂、核级离子交换树脂和变色树脂。离子交换树脂的应用越来越广泛。除了在常规水处理、废水处理领域发挥重要作用外,它还广泛用于电子工业中超纯水的制备。影响电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水的因素为:树脂颗粒均匀度、运行流速、进水质量、树脂混合均匀度、阴阳树脂比例。本文对影响电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水水质的一些工艺条件进行了一系列实验。研究了进水流量和树脂颗粒均匀度对树脂出水的影响。

  1电子级超纯水精制混床离子交换树脂的要求和特点

  电子级超纯水精制混床离子交换树脂具有较高的转化率和交换容量,可生产电阻率大于15Mcm(250C)的高纯度无硅脱盐水,电子级超纯水精制混床离子交换树脂。需要能够满足以下要求:

  1.1树脂必须具有高稳定性

  树脂可承受包括热量、在内的化学和放射性因素的影响,确保树脂骨架在高纯水制备过程中不会破裂,交换容量不会发生大的降解,树脂渗出物控制在极端低级;水流速为40-100m/h,床的入口和出口之间的压力差很大。该树脂不仅具有良好的渗透压耐受性,而且还需要高机械强度。

  1.2树脂必须达到非常高的转化率

  阳离子交换树脂的H型率≥990×44d 9%,阴离子交换树脂OH型率≥900×44d 0%。

  1.3树脂必须具有非常高的纯度

  仅含有极少量杂质,甚至含有杂质。树脂渗出物≤0.1%(干燥),TOC


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